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更新时间:2024-11-20
浏览量:151
产品介绍
数据表 用户手册
美国Coherent EnergyMax-USB J-25MUV-193支持 USB 的 90 μJ 至 100 mJ 脉冲能量传感器，重复频率高达 500 pps，光谱范围为 0.19 至 2.1 μm，有效区域直径为 25 mm。带 MaxUV 涂层的热释电能量传感器，用于以高达 500 pps 的速度测量 90 μJ 至 100 mJ 的激光脉冲。直接 USB 接口。
这款 J-25MUV-248 能量传感器采用 MaxUV 涂层，并针对在 193 nm 波长下工作的 ArF 激光器和 248 nm 的 KrF 激光器进行了优化。该传感器直接在 193 nm 处校准，包括 0.19 至 2.1 μm 的光谱补偿。
EnergyMax-USB J-25MUV-193 能量传感器端接在直接连接到 PC 的 USB 电缆中。DB25 模型 （PN 1110741） 可用。
大型散热器 （PN 1123432） 可用于通过提高平均功率能力来扩展 EnergyMax 传感器的能量和重复频率。
主要特点
0.19 至 2.1 μm nm 光谱范围
25 mm 有效区域直径
90 μJ 至 100 mJ 能量范围
500 pps 重复频率操作
直接 USB 接口
ISO 17025 认证
产品规格
| 电缆类型 | USB |
| 有效面积直径 | 25 mm |
| 探测器涂层 | MaxUV |
| 能量范围 | 90 μJ 至 100 mJ |
| 波长范围 | 190 nm 至 2100 nm |
| 噪声等效能量 | <9 µJ |
| 最大热释电重复速率（每秒脉冲数） | 500 |
| 波长范围 （微米） | 0.19 至 2.1 |
| 最大平均功率（瓦特） | 5 |
| 最大脉冲宽度（微秒） | 43 |
| 最大能量密度（毫焦耳/平方厘米） | 200（193 nm，10 ns） |
| 扩散 | No |
| 校准不确定度 （%）（k=2） | ±3 |
| 能量线性度 （%） | ±3 |
| 校准波长（纳米） | 193 |
| 电缆长度（米） | 3 |
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