维萨拉Vaisala PR-23-MS 半导体工业折射仪

用户手册

维萨拉Vaisala PR-23-MS 半导体工业折射仪适用于半导体液态化学品测量。该折光仪利用光学原理测量溶液的折射率来确定固溶物浓度，因此，可用于测量多种溶液。紧凑型设计方便集成到湿法工作台或机柜里，而无需占用过多空间。内置的流通池由纯的改性 PTFE 制成，旨在防止金属和易腐蚀部件与工艺液体接触。所有接液部件均由纯的改性 PTFE 制成。棱镜材料是蓝宝石。PR-23-MS 可提供连续的 4-20 mA 或数字测量信号，并在化学品的浓度不符合规格要求时向控制系统实时反馈。PR-23-MS 外形小巧，易于安装，适用于散装化学品配送、使用点化学品调配、补液监测应用。

应用：

• Ø 防止错误的化学品进入制造流程。
• Ø 优化蚀刻工艺并延长蚀刻液（例如加热的 KOH）的使用时间。
• Ø 通常可使晶圆的产量提高 5%，并减少 FEOL 和 BEOL 清洗工艺中清洗化学品的消耗（例如 SC-1 或 EKC-265）。
• Ø 对 CMP 浆料进行严格控制，并提高抛光的均匀性。

关键特性：

• Ø 标称准确度为 0.1%（质量百分比），例如，盐酸溶液。对于由多种成分构成的溶液，测量信号则作为各成分的校验和。
• Ø 光学核心构造光学器件。
• Ø 双连接：一个变送器可以运行两个传感器。第二个传感器可在之后轻松添加。
• Ø 过程温度范围：-20°C – 150°C (-4°F – 300°F)
• Ø 内置 Pt1000，快速温度测量及自动温度补偿功。
• Ø ATEX 防爆认证，Zone 2，EX II 3 G EEx nA II T4。
• Ø FM 防爆认证，Class I, Div. 2, Groups A, B, C and D, T6. CSA certified for Class I, Div. 2.
• Ø CSA 防爆认证，Class I, Div. 2, Groups A, B, C and D, T4.
• Ø cCSAus 电气安全认证，传感器：I 类，污染等级为3 级；变送器：I 类，污染等级为2 级；安装类别为II。

主要优点：

全数字化设备：维萨拉 K‑PATENTS® 半导体行业用折光仪 PR-33-S 用于监控工艺流程，可提供连续的以太网输出信号。设计紧凑，直接串接在过程管路上。

满量程下保持准确稳定测量：折射率测量范围为 nD 1.3200–1.5300，相当于 0-100%（重量百分比）。对于高浓度 HF，可选范围为 nD 1.2600–1.4700。标称准确度为 R.I.+ 0.0002，通常相当于 0.1%（重量百分比），例如：盐酸、测量颗粒、气泡、紊流及 PPM 浓度级别的微量杂质影响。

易于维护：光学核心设计；无漂移；无需重新校准；无需进行机械调节。