美国Coherent J-50MUV-193带扩散器脉冲能量传感器 1110575

更新时间:2024-11-25

浏览量:156

品牌：美国Coherent
型号：J-50MUV-193
描述：美国Coherent J-50MUV-193 125 μJ 至 250 mJ 脉冲能量传感器，重复频率高达 200 pps，光谱范围为 0.19 至 0.266 μm，有效面积直径为 50 mm。带 ...
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产品介绍

美国Coherent J-50MUV-193带扩散器脉冲能量传感器描述：

数据表

美国Coherent J-50MUV-193 125 μJ 至 250 mJ 脉冲能量传感器，重复频率高达 200 pps，光谱范围为 0.19 至 0.266 μm，有效面积直径为 50 mm。带 MaxUV 涂层和扩散器的热释电能量传感器，用于以高达 200 pps 的速度测量 125 μJ 至 250 mJ 的激光脉冲。

这款 J-50MUV-193 能量传感器采用 MaxUV 涂层和扩散器，以提高最大能量密度，并针对在 193 nm 下工作的 ArF 激光器和 248 nm 的 KrF 激光器进行了优化。该传感器直接在 248 nm 处校准，包括 193 nm 至 266 nm 的光谱补偿。它端接在 SmartProbe DB25 电缆中，直接与 FieldMaxII-TOP、FieldMaxII-P、LabMax-TOP 和 LabMax-Pro SSIM 仪表兼容。

大型散热器（PN 1123432）可用于通过提高平均功率能力来扩展 EnergyMax 传感器的能量和重复频率。

主要特点

193 至 266 nm 光谱范围

50 mm 有效区域直径

125 μJ 至 250 mJ 能量范围

200 pps 重复率操作

ISO 17025 认证

产品规格

电缆类型	J DB-25
有效面积直径	50 mm
探测器涂层	MaxUV
能量范围	125 μJ 至 250 mJ
波长范围	190 nm 至 266 nm
噪声等效能量	<4 µJ
最大热释电重复速率（每秒脉冲数）	200
最大脉冲宽度（微秒）	86
最大能量密度（毫焦耳/平方厘米）	200 （@193nm， 10纳秒）
最大能量密度（毫焦耳/平方厘米）	400 （193 nm，10 ns）
扩散	DUV
校准不确定度（%）（k=2）	±3
能量线性度（%）	±3
校准波长（纳米）	193
电缆长度（米）	2.5