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美国Coherent J-50MUV-193不带扩散器脉冲能量传感器 1146237

更新时间:2024-11-25

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产品介绍

美国Coherent J-50MUV-193不带扩散器脉冲能量传感器描述:

数据表

美国Coherent J-50MUV-193 125 μJ 至 250 mJ 脉冲能量传感器,重复频率高达 200 pps,光谱范围为 0.19 至 2.1 μm,有效区域直径为 50 mm。带 MaxUV 涂层的热释电能量传感器,用于以高达 200 pps 的速度测量 125 μJ 至 250 mJ 的激光脉冲。

这款 J-50MUV-193 能量传感器采用 MaxUV 涂层,并经过优化,可与 193 nm 的 ArF 激光器和 248 nm 的 KrF 激光器配合使用。该传感器直接在 193 nm 处校准,包括 193 nm 至 2.1 μm 的光谱补偿。它端接在 SmartProbe DB25 电缆中,直接与 FieldMaxII-TOPFieldMaxII-PLabMax-TOPLabMax-Pro SSIM 仪表兼容。

提供 USB 直接 (PN 1289935) 型号。

大型散热器 (PN 1123432) 可用于通过提高平均功率能力来扩展 EnergyMax 传感器的能量和重复频率。

主要特点

19 至 2.1 μm 光谱范围

50 mm 有效区域直径

125 μJ 至 250 mJ 能量范围

200 pps 重复率操作

ISO 17025 认证

产品规格

电缆类型 J DB-25
有效面积直径 50 mm
探测器涂层 MaxUV
能量范围 125 μJ 至 250 mJ
波长范围 190 nm 至 2100 nm
噪声等效能量 <4 µJ
最大热释电重复速率(每秒脉冲数) 200
最大平均功率(瓦特) 10
最大脉冲宽度(微秒) 86
最大能量密度(毫焦耳/平方厘米) 200(193 nm,10 ns)
最大能量密度(毫焦耳/平方厘米) 260 (@248nm, 10纳秒)
扩散 DUV
校准不确定度 (%)(k=2) ±3
能量线性度 (%) ±3
校准波长(纳米) 193
电缆长度(米) 2.5

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