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美国Trek 645 静电卡盘电源

更新时间:2024-10-29

浏览量:387

品牌：美国Trek
型号：Trek 645
描述：Trek 645 软件驱动型静电吸盘电源具有记录的历史，其效率和吞吐量是其他备件的三倍。Trek 645 具有多功能、值得信赖的性能，可用于多种独特的工具和工艺，无需为设施中的每个独特工具或工艺指定新...
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产品介绍

美国Trek 645 静电卡盘电源描述：

数据表

Trek 645软件驱动静电卡盘电源的使用记录显示，客户的效率和吞吐量提高了三倍，是其他电源的三倍。Trek 645几乎消除了粘性晶圆和晶圆爆裂问题，从而确保更好地控制颗粒污染。鉴于Trek 645的多功能性和性能，它可以用于多种独特的工具/工艺，从而消除了为设施中的每个独特工具/工艺指定新供应的需要。

产品亮点

可锁定的前面板控制界面

每台设备均提供 NIST 可追溯校准证书

支持 Coulombic 和 Johnsen-Rahbek ESC 技术

将静电吸盘轮廓上传并存储到装置中，并通过用户友好的软件界面进行内部存储

晶圆检测包括无晶圆、晶圆存在或晶圆夹紧状态

减少背面气体错误，提高吞吐量，并消除晶圆粘滞/爆裂问题

控制参数，如过流、晶圆存在和晶圆箝位阈值、箝位电压、偏移电压和内部或外部幅度/偏移控制

调整过程中的振幅/偏移和输出控制的多功能性

使用后面板 I/O、串行计算机命令或前面板控件控制输出

配置自定义夹紧和夹紧序列和波形

产品规格

尺寸	43.7 x 421.6 x 457.3 mm (1.72 x 16.6 x 18 in)
面板宽度	482.6 mm (19 in)
重量	3.86 kg (8.5 lb)
接地插座	接地螺栓
电源要求	24 VDC, 1.7 A
工作温度	0至35°C（32至104°F）
相对湿度	达到85%，不凝结
海拔高度	至2000米（6561.68英尺）
输出功率（W）	13
最大输出电流（A）	±0.0065
转换速率（V/ms）	-
输出电压范围（V）	0 至 ±2000