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Products
产品介绍
数据表
Trek 646 软件驱动型静电吸盘电源具有一系列功能，可满足各种要求苛刻的应用。该仪器采用 Advanced Energy 技术，其效率和通量是其他备件的三倍。Trek 646 具有多功能、值得信赖的性能，可用于多种独特的工具和工艺，无需为设施中的每个独特工具或工艺指定新的供应。
产品亮点
可锁定的前面板控制界面
每台设备均提供 NIST 可追溯校准证书
支持 Coulombic 和 Johnsen-Rahbek ESC 技术
将静电吸盘轮廓上传并存储到装置中，并通过用户友好的软件界面进行内部存储
晶圆检测包括无晶圆、晶圆存在或晶圆夹紧状态
减少背面气体错误，提高吞吐量，并消除晶圆粘滞/爆裂问题
控制参数，如过流、晶圆存在和晶圆箝位阈值、箝位电压、偏移电压和内部或外部幅度/偏移控制
调整过程中的振幅/偏移和输出控制的多功能性
使用后面板 I/O、串行计算机命令或前面板控件控制输出
配置自定义夹紧和夹紧序列和波形
产品规格
| 尺寸 | 88.1 x 431.8 x 531.9 mm (3.47 x 17 x 20.9 in) |
| 面板宽度 | 482.6 mm (19 in) |
| 重量 | 5.0 kg (11 lb) |
| 接地插座 | 接地螺栓 |
| 电源要求 | 24 VDC, 2.0 A |
| 工作温度 | 0 to 35°C (32 to 104°F) |
| 相对湿度 | 达到85%，不凝结 |
| 海拔高度 | 至2000米（6561.68英尺） |
| 输出功率 （W） | 19.5 |
| 最大输出电流 （A） | ±0.0065 |
| 转换速率 （V/ms） | - |
| 输出电压范围 （V） | 0 至 ±3000 |
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