产品中心

Products

当前位置:首页>产品中心>电子电工仪表>美国Trek>

美国Trek 646 静电卡盘电源

更新时间:2024-10-29

浏览量:9

  • 品牌:美国Trek
  • 型号:Trek 646
  • 描述:Trek 646 软件驱动型静电吸盘电源具有一系列功能,可满足各种要求苛刻的应用。该仪器采用 Advanced Energy 技术,其效率和通量是其他备件的三倍。Trek 646 具有多功能、值得信赖...
  • 在线订购
  • 微信咨询

    QQ咨询

    在线客服

产品介绍

美国Trek 646 静电卡盘电源描述:

数据表

Trek 646 软件驱动型静电吸盘电源具有一系列功能,可满足各种要求苛刻的应用。该仪器采用 Advanced Energy 技术,其效率和通量是其他备件的三倍。Trek 646 具有多功能、值得信赖的性能,可用于多种独特的工具和工艺,无需为设施中的每个独特工具或工艺指定新的供应。

产品亮点

可锁定的前面板控制界面

每台设备均提供 NIST 可追溯校准证书

支持 Coulombic 和 Johnsen-Rahbek ESC 技术

将静电吸盘轮廓上传并存储到装置中,并通过用户友好的软件界面进行内部存储

晶圆检测包括无晶圆、晶圆存在或晶圆夹紧状态

减少背面气体错误,提高吞吐量,并消除晶圆粘滞/爆裂问题

控制参数,如过流、晶圆存在和晶圆箝位阈值、箝位电压、偏移电压和内部或外部幅度/偏移控制

调整过程中的振幅/偏移和输出控制的多功能性

使用后面板 I/O、串行计算机命令或前面板控件控制输出

配置自定义夹紧和夹紧序列和波形

产品规格

尺寸 88.1 x 431.8 x 531.9 mm (3.47 x 17 x 20.9 in)
面板宽度 482.6 mm (19 in)
重量 5.0 kg (11 lb)
接地插座 接地螺栓
电源要求 24 VDC, 2.0 A
工作温度 0 to 35°C (32 to 104°F)
相对湿度 达到85%,不凝结
海拔高度 至2000米(6561.68英尺)
输出功率 (W) 19.5
最大输出电流 (A) ±0.0065
转换速率 (V/ms) -
输出电压范围 (V) 0 至 ±3000
上一个:美国Trek 645 静电卡盘电源 没有下一个

咨询微信客服

咨询微信客服

QQ在线客服

客服热线:

0I0-52867770
0I0-52867771
I3811111452
I7896005796

技术支持

0I0-52867774
I7896005796
收起

扫一扫,关注官方账号

扫一扫,关注官方账号

010-52867771

在线客服