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Products
产品介绍
产品手册
响应式气体流量控制，抑制压力波动
性能良好的质量流量控制器只需将流量保持在您的设定值。艾里卡特MC系列气体质量流量控制器可快速达到新的设定值，并保持该设定值，即使在压力突然增加的情况下，亦如此。我们将根据您的应用参数为您定制阀门和PID调节功能，确保相关产品能快速实现稳定控制。
多功能。监控流速的同时控制压力；可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通讯选项，可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
耐用。MC系列气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性，我们可为您的质量流量控制器构建IP66等级防护。
性能
可用量程：最大0-5000 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常备量程，参见零件编号标签）
可调比：200:1（MC系列）或100:1（MCS系列）
标准精度（NIST可溯源）：±（0.8%读数+0.2%满量程）
高精度（选配，NIST可溯源）：±（0.4%读数+0.2%满量程）
可重复性：0.2%满量程
标准质量流量控制器响应时间常数：50-100ms（若有PID调节功能，可缩短至25ms）
无需预热时间
工作条件
兼容气体：98（MC系列）或130（MCS系列）种预置可选气体；利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
工作温度：-10°C至+60°C
最大内部压力（静态）：145 psig（160 psia）
耐受压力：175 psig（190 psia）
MC-0.5
MC-1
MC-5
MC-10
MC-20
MC-50
MC-100
MC-200
MC-500
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